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[질문] 반도체공정중산화공정에대해서알려주세요

조회수 485 | 2008.03.22 | 문서번호: 2883019
전체 답변:
[지식맨]  2008.03.22

웨이퍼위에oxide막을형성하기위한공정으로,반도체웨이퍼를furnace라불리는노에집어넣고고온상태유지하면서공기와질소,수증기와질소를노에주입함으로써이뤄집니다

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