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[질문] foup의뜻은?

조회수 624 | 2009.06.26 | 문서번호: 8642547
전체 답변:
[지식맨]  2009.06.26

근래 반도체 장비들이 규격화한 것중 하나로서 웨이퍼카세트의 뚜껑에 맞추어 공정장비의 도어를 규격화하여 FOUP라고 부릅니다

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