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AlN(질화알루미늄) 기판 만드는법좀알려주세요
조회수 255 | 2014.05.14 | 문서번호: 20839277
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[지식맨]
2014.05.14
로스코어라인을만들어,스코어라인근방에금속알루미늄을생성하고;1000℃와1800℃사이의온도로스코어링된기판을가열하고;그리고가열단계에서가해졌던기판을금속화
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